Materjal abjad tal-fidda Tantalu Mira

Puramira tat-tantalujintuża prinċipalment għall-preparazzjoni ta 'saff ta' barriera tad-diffużjoni bejn wajer ta 'interkonnessjoni tar-ram u sottostrat tas-silikon f'teknoloġija avvanzata tas-semikondutturi, u huwa materjal ewlieni fil-proċess ta' interkonnessjoni tar-ram. Il-ħxuna u l-uniformità tal-film Ta miksi b'depożizzjoni fiżika tal-fwar jaffettwaw direttament il-prestazzjoni ta 'Ta bħala saff ta' barriera, u l-qamħ u n-nisġa tal-mira Ta huma l-fatturi ewlenin li jaffettwaw ir-rata ta 'sputtering.

1.Fil-preżent, il-purità materjali ta 'purmira tat-tantalumaterjal ta 'teknoloġija avvanzata tas-semikondutturi huwa 99.995%, u l-ingotti li jissodisfaw ir-rekwiżiti ta' purità u densità huma ġeneralment ippreparati permezz ta 'tidwib u ikkastjar, u mbagħad l-ingotti huma deformati plastikament u ttrattati bis-sħana biex jikkontrollaw id-daqs u n-nisġa tal-qamħ, u mbagħad it-Ta ippreparat embrijun fil-mira huwa wweldjat mal-backplate. L-ingotti huma falsifikati l-ewwel, u l-proċess tal-forġa huwa jħarbat l-ewwel u mbagħad jitwal. Il-mikroskopija metallurġika u l-EBSD intużaw biex janalizzaw id-daqs u n-nisġa tal-qamħ ta 'kampjuni foloz u ttrattati bis-sħana. Ir-riżultati juru li d-daqs medju tal-qamħ huwa 128.7μm u d-devjazzjoni standard hija 125.67 wara trattament tas-sħana ta '{7}} grad f'forġa waħda. Wara trattament tas-sħana tal-forġa sekondarja +950 grad, id-daqs medju tal-qamħ kien 90.3μm, u d-devjazzjoni standard kienet 64.34. Wara t-trattament bis-sħana ta '{13}} grad għal tliet forġa, id-daqs medju tal-qamħ kien 65.91μm, u d-devjazzjoni standard kienet 40.71. Wara erba 'forġa +950 trattamenti tas-sħana ta' grad, id-daqs medju tal-qamħ kien 48.7μm b'devjazzjoni standard ta '22.08. Wara erba 'forġa, ir-raffinament tal-qamħ u l-uniformità tal-mikrostruttura tal-kampjun tjiebu b'mod sinifikanti.

It-tags Popolari: il-mira tat-tantalu tal-materjal abjad tal-fidda, manifatturi tal-mira tat-tantalu tal-materjal abjad tal-fidda taċ-Ċina, fornituri, fabbrika