Nitride tas-silikon materjali ta 'livell għoli

Taħt kundizzjonijiet remoti, trab tas-silikon jista 'jkun kompletament nitrided fil-proċess SHS biex tiġġeneraNitride tas-silikon, u l-prodott għandu kontenut għoli ta 'nitroġenu u kontenut baxx ta' ossiġnu, iżda huwa fażi. Fir-reazzjoni SHS tad-dħaħen tas-silikon, ammont xieraq ta 'Si _3 n _4 iż-żerriegħa għandha tkun miżjuda; Il-veloċità tal-propagazzjoni tal-mewġa ta 'kombustjoni SHS ta' silikon tiżdied biż-żieda tal-pressjoni tan-nitroġenu u t-tnaqqis tad-densità tal-mili reattiv, iżda hija indipendenti mill-kompożizzjoni reattiva u d-dijametru tal-kampjun. It-temperatura tal-mewġ tal-kombustjoni żdiedet biż-żieda tal-pressjoni tan-nitroġenu u ż-żieda tad-dijametru tal-kampjun, li kienet indipendenti mill-kompożizzjoni tar-reattivi u d-densità tal-mili.

1.Nitride tas-silikonIl-films ġew ippreparati bl-użu ta 'teknoloġija ta' deposizzjoni tal-fwar kimiku fil-plażma (PECVD) taħt kondizzjonijiet ta 'deposizzjoni differenti (firxa ta' temperatura ta 'sottostrat ta '20 ~ 180 grad u qawwa RF ta' 10 ~ 30W), u l-effetti tal-kundizzjonijiet ta 'deposizzjoni fuq il-proprjetajiet u l-proprjetajiet li ma jgħaddix ilma minnhom ġew studjati. Ir-riżultati sperimentali juru li biż-żieda tat-temperatura tas-substrat, id-densità, l-indiċi ta 'rifrazzjoni u l-proporzjon Si / N ta' films tan-nitruri tas-silikon jiżdiedu b'mod korrispondenti, filwaqt li r-rata ta 'depożizzjoni u l-kontenut H jonqsu b'mod korrispondenti. Biż-żieda tal-qawwa RF, ir-rata ta 'deposizzjoni, id-densità, l-indiċi refrattiv u l-proporzjon Si / N ta' films tan-nitruri tas-silikon jiżdiedu b'mod korrispondenti, filwaqt li l-kontenut H jonqos b'mod korrispondenti. L-esperiment tal-permeazzjoni tal-fwar tal-ilma juri li anke jekk it-temperatura tas-substrat hija mnaqqsa għal 50 grad, il-film tad-depożitat tas-silikon tan-nitride għad għandu prestazzjoni tajba li ma jgħaddix ilma minnha. Riżultati sperimentali juru li films ta 'nitruri tas-silikon b'temperatura baxxa jistgħu jiġu applikati b'mod effettiv fuq l-imballaġġ ta' apparati organiċi li jarmu d-dawl (OLEDs).

It-tags Popolari: Nitride tas-silikon materjali ta 'livell għoli, Ċina ta' livell għoli Manifatturi tan-Nitride tas-Silikon, Fornituri, Fabbrika